正热电偶真空计是一种测量高真空度的重要仪器,其测量原理基于热电效应和气体热扩散效应。在正热电偶真空计中,气体原子或分子在真空中可以表现出粒子特性,即具有直线运动、碰撞散射和自由扩散等特性,从而对正热电偶产生影响。
膨胀法标定正热电偶真空计是目前常用的真空标定方法之一。这种方法的基本原理是利用一个恒压的气体流,使气体在真空室中发生可压缩性膨胀,从而提供一个确定的气体压力,进而通过测量管的电阻值,计算出真空室的压力值。
具体而言,在进行膨胀法标定正热电偶真空计时,首先需要准备好一台质量稳定、流量连续可调的质量流量计。将流量调至恒定值,使气体流经一个可控制出口面积的喷嘴,然后经由一根细管进入到正热电偶真空计的测量管中。
当气体进入测量管后,由于气体在真空中的热扩散效应,会导致测量管中的气体膨胀,从而使得电源提供的给热电偶的电流发生变化。通过测量热电阻的电阻值变化,可以计算出气体在测量管中的实际压力值。
膨胀法标定正热电偶真空计的优点在于能够提供高的压力标定,同时非常适用于大气压以下的真空测量。不过需要注意的是,在进行真空标定过程中,各种误差因素的影响需要得到充分的考虑和消除,才能保证真空测量结果的准确性。
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热电偶阻值达到640欧