工业测温，湿敏电阻的特点是，基板上覆盖有一层由湿敏材料制成的薄膜。当空气中的水蒸气吸附在湿敏膜上时，元件的电阻率和电阻发生变化。利用这个特性，可以测量湿度。湿敏电容器通常由聚合物薄膜电容器制成。常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、丁酸、醋酸纤维等。当环境湿度变化时，湿敏电容的介电常数发生变化，因此其电容也发生变化，其电容变化与相对湿度成正比。
电子式湿度传感器的相对湿度可达2-3%，高于干湿球式湿度传感器。湿度传感器的线性度和抗污染性较差。在检测环境湿度时，湿度传感器应长期暴露在被测环境中，容易受到污染，影响其测量和长期稳定性。这方面不如干湿球法。以下是各种湿度传感器的简要介绍。